تترا فلوراید کربن با خلوص بالا

تترا فلوئورید کربن با خلوص بالا (بیشتر از یا مساوی با 99 {1} 99} 99) برای برنامه هایی که ناخالصی های ردیابی می توانند عملکرد را به خطر بیاندازند بسیار مهم است. این درجه از طریق تقطیر کسری و رسوب بخار شیمیایی تولید می شود ، این درجه محدودیت های سخت در رطوبت را حفظ می کند (<5 ppm), oxygen (<10 ppm), and reactive fluorocarbons. The semiconductor industry consumes 70% of global high purity carbon tetrafluoride production, primarily for dielectric etching in 3D NAND and DRAM fabrication. Specialized gas delivery systems using electropolished stainless steel and ultra-high vacuum valves ensure purity from cylinder to tool. Recent advancements include real-time mass spectrometry for impurity tracking and cylinder coatings that reduce particulate generation.

تگ های محبوب: تترا فلوراید کربن با خلوص بالا ، تولید کنندگان تترا فلوراید کربن با خلوص بالا ، تأمین کنندگان ، کارخانه, تترا فلورایدکربن tetrafluoride r14تونیل تترافلورایددرجه الکترونیکی کربن تترافلوراید 99 999تترا فلوراید کربن با خلوص بالاگاز مبرد R14 Tetrafluoride